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Máquina de revestimento por evaporação térmica ultrassônica de alto vácuo com quatro fontes de aquecimento (10-6 torr)
Model Number:
GSL-1800X-ZF4Porto de embarque:
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Forno CSS de Laboratório de Duas Zonas para Processamento Térmico Rápido até Wafer de 5" de Diâmetro a Máx. 800°CNa próxima:
Forno CSS de duas zonas com suporte giratório de wafer até 5x5" em máx. 800°C
Máquina de revestimento por evaporação térmica ultrassônica de alto vácuo com quatro fontes de aquecimento (10-6 torr)
ESPECIFICAÇÕES
Entrada & Potência de saída |
· Entrada: 208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, monofásica · Potência total necessária: 8KW (incluindo bomba) · outra tensão trifásica está disponível mediante solicitação · Saída: 5VAC máx. e 300A máx. |
Câmara de vácuo
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· Câmara de aço inoxidável: ID de 280 mm. x 375 mm Altura, (~23 Litros) Superfície de polimento eletrolítico com jato de areia · Janela de observação de 100 mm na frente da câmara · Porta do tipo articulada para fácil carregamento de amostras · Obturadores operados manualmente estão no topo de cada barco W de evaporação, que permite evaporar 4 tipos de material um por um · 4 portas KF40 construídas na câmara para conexão ao dispositivo necessário |
· A bomba de vácuo turbo de alta velocidade está incluída e conectada à câmara de vácuo. (Por favor, clique na imagem à esquerda acima) o Velocidade do vácuo: 600L/S o Nível de vácuo: 5,0x10 -6 Torr (após 40 minutos de bombeamento) o Limite de vácuo: 5,0x10 -7 Torr (depois de assar a 100 -150°C) o Taxa de vazamento: 5,0x10 -7 Pa. o Porta de vácuo: 150 mm de diâmetro |
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· Quatro barcos de aquecimento de tungstênio estão incluídos suportados por eletrodos de água fria · O barco de aquecimento de tungstênio tem dimensão de 70 mm C x 12 mm L x 3 mm A 。 O barco W sobressalente está disponível por um custo extra 。 · Cada parte superior do barco tem um obturador de operação manual · O obturador manual embutido permite que a fonte de evaporação possa ser usada sem contaminação · O porta-amostras giratório de 100 mm de diâmetro está no topo da câmara com diâmetro de 260 mm, que pode ser aquecido até 600°C máx. via controlador de temperatura digital com precisão de +/1 °C · A distância entre a fonte de evaporação e o suporte da amostra é ajustável de 150 a 300 mm
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controle de espessura ( opcional ) |
· Um monitor e controlador de espessura de filme de alta resolução é opcional ( clique na imagem abaixo para ver as especificações detalhadas) · A precisão do controle de espessura é de 1,0A
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Unidade de controle |
· Vácuo, espessura e controle de potência são integrados em uma caixa de controle · Unidade de controle é separada da câmara de vácuo para fácil movimentação · Você pode colocar a unidade de controle no topo da estação de vácuo |
Dimensão total |
L600mm× L860mm× A1500mm |
Peso líquido |
600kg |
Requisito de instalação para instalação |
· Espaço: 250 SF com altura > 6 pés · Potência: 208 - 240V AC, fase única com Max 10KW (disjuntor de 50A) · Água: > Água corrente de 15L/minuto necessária para o resfriamento do eletrodo. Você pode solicitar um refrigerador de água recirculante para economizar água clicando na imagem abaixo a um custo extra.
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Notas de aplicação |
· Teste a flexibilidade do eletrodo/filme fino revestido com Testador de dobra de mandril EQ-MBT-12-LD . · |
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Dois anos de garantia limitada com suporte vitalício Certificado pela CE |