Tensão de entrada

• 220 VAC 50/60 Hz
• A alimentação de 110 V está disponível usando um Transformador de 1000 W (fusível de 15 A ). O transformador é vendido separadamente.

Potência de saída

• 1600 VCC
• 250 W
• 150 mA máx.
• Proteção contra sobrecorrente integrada (>150 mA)

Câmara de amostras

• Tubo de vidro de quartzo, diâmetro externo de 165 mm. X 150 mm DI x 250 mm Altura

Sputtering Head &
Estágio de Amostra

• Cabeça flexível de pulverização de magnetron de 2" com camisa de resfriamento de água incluída (Fig.1)
• Um estágio de amostra de aço inoxidável de 50 mm de diâmetro pode ser girado de 0 a 5 RPM
• Um obturador operado manualmente para proteção do alvo. (Figura 2)
• O suporte de cabeça de pulverização está disponível para segurar a cabeça de pulverização enquanto não estiver em operação.
• A distância entre a cabeça de pulverização e o estágio de amostra é ajustável de 60 a 100 mm.
• Área máxima de revestimento: 4" de diâmetro máx.
• Um Resfriador de ar frio com recirculação de água 10 L/min Fluxo está incluído para resfriar a cabeça de pulverização catódica. (Fig.6)
• 

Painel de controle

• Painel de controle touchscreen colorido de 6" com integração PLC para fácil operação
• Um painel para monitorar e controlar todos os parâmetros: vácuo, corrente.

Pressão de vácuo final

• Porta de vácuo KF25 integrada
• O sistema requer um tanque de gás Ar com regulador de pressão. (não incluso)
• < 1.0E-2 Torr por Bomba de vácuo de palhetas (não incluída) para alvos Au, Ag, Pt, Cu, Mo (não sensíveis ao ar)
• < 1.0E-5 Torr por Bomba turbomolecular (não incluída) para alvos Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn (sensíveis ao ar)
• O vácuo mais baixo pode atingir < 4.0E-6 Torr bombeando durante a noite e assando

Atmosfera de Gás

• Uma válvula de agulha instalada para permitir que a entrada de gás Ar alcance um melhor revestimento de plasma
• O sistema requer um tanque de gás Ar com o regulador de pressão (não incluído)

Alvo

· Um alvo de cobre de 2" está incluído para teste. Tamanho do alvo: 2" de diâmetro x 2,5 mm.

• Também pode revestir Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg , etc. quase todo tipo de material metálico.
• Aviso : Alvo de alumínio, cromo ou níquel pode ser revestido por esta máquina, mas consulte o método de revestimento recomendado antes de usar.
• Por favor, usando RF Plasma Magnetron Sputtering para revestir Alumina

Monitor de Espessura de Filme Opcional

• Monitor de espessura de filme é opcional a um custo extra
• O estágio de amostra aquecível até 500°C está disponível mediante solicitação a um custo extra
• O medidor de vazão para entrada de gás de controle preciso está disponível mediante solicitação a um custo extra.

Dimensão global

• C 440 mm × L 330 mm × A 290 mm

Peso líquido

• 20kg

Peso de envio & Dimensão

• 160 libras
• 45" x 45" x 40"

Observância

• aprovação CE
• A certificação NRTL está disponível mediante solicitação a um custo extra, entre em contato com nosso representante de vendas para obter uma cotação.

garantia

• Um ano limitado com suporte vitalício

Notas de aplicação

• Aviso: A cabeça de pulverização se conecta à ALTA tensão. O operador deve usar luvas durante a operação
• Certifique-se de que o alvo, a cabeça de pulverização catódica, o substrato e o estágio de aquecimento estejam limpos antes do revestimento, use a lixa e o álcool para limpar e refrescar o alvo de Al ou Níquel a cada uso.