Potência de entrada

• Monofásico 220 VCA, 50/60 Hz
• 700 W (incluindo bomba de vácuo)
• Para usar 110 VAC, incluiremos um transformador para você. Por favor, selecione a tensão nas opções do produto

Potência de saída

• 1600 VCC
• 40 mA máx.

Câmara de vácuo

• Câmara de vácuo: 150 mm ID x 165 mm OD x 150 mm H, feita de quartzo de alta pureza
• Flange de vedação em aço inoxidável com O-ring plano

Estágio de Amostra com Aquecedor

• Tamanho do palco: 50 mm de diâmetro.
• Faixa de distância de pulverização: 25 – 40 mm ajustável
• Estágio giratório com três posições de pulverização (controlado pela tela sensível ao toque)
• Aquecedor de substrato é embutido com uma temperatura máxima de aquecimento de 500 °C
• O controlador de temperatura PID com precisão de +/- 1 °C está integrado na tela sensível ao toque

Painel de controle

• Ecrã tátil a cores de 6” com integração PLC para fácil operação
• Medidor de vácuo, medidor de corrente de pulverização e controle de temperatura do substrato são integrados ao painel da tela sensível ao toque
• Botões de ajuste no painel frontal para entrada de gás e controle de corrente de pulverização
• A posição de sputtering, o temporizador de sputtering e o registro do processo são acessíveis na tela sensível ao toque

Escudo

• Aço inoxidável gaiola de escudo está incluído para proteção extra

Alvos de pulverização

• Requisitos de tamanho alvo: 47 mm de diâmetro. x 2,5 mm máx.
• Três alvos estão incluídos no pacote padrão para uso imediato:
• Au alvo , 47 mm Diâm. x 0,12 mm
• Ag alvo , 47 mm Diâm. x 0,5 mm
• Cu alvo , 47 mm Diâm. x 2,5 mm
• Vários alvos estão disponíveis para encomenda no MTI

Bomba de vácuo
(Opcional)

• Porta de vácuo KF25 integrada para conexão a uma bomba de vácuo.
• Bomba de vácuo com conector KF25 é necessária, mas não incluída. O usuário pode escolher
• UMA bomba de vácuo mecânica de duplo estágio para vácuo até 1.0E-2 Torr.
• Ou um bomba turbo para vácuo até 1.0E-5 Torr
• A bomba de vácuo pode ser conectada à tomada à esquerda do revestidor para controle automático
• 

Dimensões

• 440 mm C × 330 mm L × 455 mm A

Peso líquido

• 50kg

Observância

• aprovação CE
• A certificação MET (UL 1450) está disponível mediante solicitação a um custo extra, entre em contato com nosso representante de vendas para obter uma cotação

garantia

• Um ano limitado com suporte vitalício

Notas de aplicação

• Para obter a melhor força de adesão filme-substrato, limpe a superfície do substrato antes de revestir:
• Limpeza ultrassônica com os seguintes banhos sequenciais - (1) acetona, (2) álcool isopropílico - para remoção de óleo e graxa. Seque o substrato com N2 e, em seguida, leve ao forno a vácuo para remover a umidade absorvida
• A limpeza de plasma pode ser necessária para tornar a superfície mais áspera, ativar ligações químicas de superfície ou remover contaminações adicionais
• Uma fina camada tampão (~ 5 nm), como Cr, Ti, Mo, Ta, pode ser aplicada para melhorar a adesão de metais e ligas

• Um regulador de pressão de dois estágios (não incluído) deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão de saída do gás abaixo de 0,02 MPa para uso seguro. Use > Gás Ar de pureza 5N para pulverização catódica
• O revestidor por pulverização catódica pode ser colocado em uma caixa de luvas de gás Ar e N2 para revestimento
• ALTA VOLTAGEM! As cabeças de pulverização se conectam à alta tensão. Por segurança, o operador deve desligar o equipamento antes das operações de carregamento de amostra e mudança de alvo
• Este modelo não é adequado para revestir materiais metálicos leves como Al, Mg, Zn, Ni, etc. devido à baixa energia. Por favor, considere nosso revestidor de pulverização catódica magnetron ou revestidor de evaporação térmica. Clique nas fotos abaixo para detalhes