Revestimento por pulverização catódica de íons magnéticos de alto vácuo DC ou RF

Revestimento por pulverização catódica de íons magnéticos de alto vácuo DC ou RF Introdução Alto Revestimento de pulverização catódica de íons de magnetron a vácuo é ideal e projetado para ciência de materiais e preparação de amostras. É amplamente utilizado pela maioria das universidades e institutos de pesquisa científica de ciência e engenharia de materiais para revestir metais, cerâmicas, semicondutores, isoladores ou outros tipos de preparação de material de membrana. O revestidor de íon magnetron de alto vácuo fornece o ambiente de pulverização catódica mais estável e atinge as condições experimentais básicas de pulverização catódica em um período de tempo muito curto. Ele fornece DC / RF dois tipos de opções de potência de pulverização catódica que permitem a pulverização catódica de substâncias condutoras ou não condutoras na amostra e melhora o desempenho da deposição física de vapor (PVD). Também é excelente para tratamento de superfície e revestimento. É fácil de operar e amigável também. Bomba de vácuo e chiller estão incluídos. Parâmetro Vácuo p árbitro s et ( O eu necessito) r otário v vácuo p ump+( o estou livre) t urbano m oleculano p conjunto de arbitragem Rotativo p arbitragem s fez xixi 50Hz: 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2 m³ /h (5,2 L/s) Molecular p arbitragem s fez xixi 300 l/ s Vácuo eu imitar 5* 10 -5 pa Trabalhando p ressegurar 0,5-5 Pa aspirar t eu mim >10 Min(10 -3 Pa) Vácuo m facilidade Alcance de medição da atmosfera até 1*10 -6 pa Gás c controlar Gás f baixo c controlador Câmara s tamanho φ260*200mm (altura) m etal Magnetrão t argumentar s fonte Tamanho alvo φ 50*3mm(Cu)/ t fonte de arget: W comer m agnético s substância / m materiais Operação m método Manual de Instruções eu Peso/ s tamanho 100kg/610mm comprimento x 420mm largura x 490mm de altura Poder s abastecer CA 110 V 60 Hz ou CA 220 V 50 Hz Poder c consumo <3000W Resfriamento m método Ar c ooling( p ump)+ W depois c ooling( s puttering t Arget) garantia Garantia limitada de um ano com suporte vitalício ao produto

Materials Science Vacuum Magnetron Ion Sputter Coating Coater

Materials Science Vacuum Magnetron Ion Sputter Coating Coater Introdução Ciência de materiais Revestimento por pulverização catódica de íons magnetron (Modelo SD900M) é ideal e projetado para preparação de amostras de laboratório SEM. É amplamente utilizado para revestir amostras SEM não condutoras ou sensíveis ao calor com Au para obter uma melhor imagem. Também é excelente para tratamento de superfície e evita danos à amostra de substrato. Imagem da Amostra do Resultado do Revestimento sob SEM (por modelo SD-900M) EPTFE (Extended Poly Tetra Fluoro Ethylene) Baixo vácuo, pode ser alcançado rapidamente ao usar a bomba de vácuo adequada em 5 minutos. Gera muito menos calor e evita danos de plasma à amostra de substrato. É amigável e fácil de operar. A bomba de vácuo está incluída. O resfriador é opcional. Parâmetro Vácuo p árbitro s et ( O eu necessito) r otário v vácuo p árbitro Rotativo p arbitragem s fez xixi 50Hz: 8 m³ / h ( 2 . 2 L/s)/60Hz: 9. 6 m³ /h ( 2 . 6 L/s) Vácuo eu imitar 2 pa Corrente máxima de pulverização 100mA Trabalhando p ressegurar 20Pa - 8 pa aspirar t eu mim <5 Min( 2 Pa) Vácuo m facilidade Alcance de medição da atmosfera até 2*10 -2 mbar Câmara s tamanho Φ 15 0* 12 0 mm (altura) vidro de quartzo resistente a arranhões Magnetrão t argumentar s fonte Alvo Tamanho φ50*0,1mm(Au) / t fonte de arget: Au, Ag, Pt Operação m método Manual de Instruções eu Peso/ s tamanho 45 kg/ 36 0mm comprimento x 30 0mm de largura x 38 0mm de altura Poder s abastecer CA 110 V 60 Hz ou CA 220 V 50 Hz Poder c consumo < 15 00W Método de resfriamento Resfriamento a água (opcional) garantia Garantia limitada de um ano com suporte vitalício ao produto