Revestimento por pulverização catódica de íons magnéticos de alto vácuo DC ou RF

Revestimento por pulverização catódica de íons magnéticos de alto vácuo DC ou RF Introdução Alto Revestimento de pulverização catódica de íons de magnetron a vácuo é ideal e projetado para ciência de materiais e preparação de amostras. É amplamente utilizado pela maioria das universidades e institutos de pesquisa científica de ciência e engenharia de materiais para revestir metais, cerâmicas, semicondutores, isoladores ou outros tipos de preparação de material de membrana. O revestidor de íon magnetron de alto vácuo fornece o ambiente de pulverização catódica mais estável e atinge as condições experimentais básicas de pulverização catódica em um período de tempo muito curto. Ele fornece DC / RF dois tipos de opções de potência de pulverização catódica que permitem a pulverização catódica de substâncias condutoras ou não condutoras na amostra e melhora o desempenho da deposição física de vapor (PVD). Também é excelente para tratamento de superfície e revestimento. É fácil de operar e amigável também. Bomba de vácuo e chiller estão incluídos. Parâmetro Vácuo p árbitro s et ( O eu necessito) r otário v vácuo p ump+( o estou livre) t urbano m oleculano p conjunto de arbitragem Rotativo p arbitragem s fez xixi 50Hz: 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2 m³ /h (5,2 L/s) Molecular p arbitragem s fez xixi 300 l/ s Vácuo eu imitar 5* 10 -5 pa Trabalhando p ressegurar 0,5-5 Pa aspirar t eu mim >10 Min(10 -3 Pa) Vácuo m facilidade Alcance de medição da atmosfera até 1*10 -6 pa Gás c controlar Gás f baixo c controlador Câmara s tamanho φ260*200mm (altura) m etal Magnetrão t argumentar s fonte Tamanho alvo φ 50*3mm(Cu)/ t fonte de arget: W comer m agnético s substância / m materiais Operação m método Manual de Instruções eu Peso/ s tamanho 100kg/610mm comprimento x 420mm largura x 490mm de altura Poder s abastecer CA 110 V 60 Hz ou CA 220 V 50 Hz Poder c consumo <3000W Resfriamento m método Ar c ooling( p ump)+ W depois c ooling( s puttering t Arget) garantia Garantia limitada de um ano com suporte vitalício ao produto