Estrutura compacta

Potência de entrada

• Monofásico 220 VAC 50/60 Hz
• 2000 W (incluindo bomba de vácuo e refrigerador de água)

Fonte de alimentação

• Três fontes de energia de pulverização estão integradas em uma caixa de controle (Clique na imagem abaixo para ver especificações detalhadas)
• Fonte DC: 500 W de potência para revestimento de materiais metálicos (Pic 1)
• Fonte de RF: potência de 300 W, frequência de 13,56 MHz para revestimento de materiais não condutores (Fig. 2)

Cabeça de Pulverização Magnetron

• Três cabeçotes de pulverização de magnetron de 2" com jaquetas e persianas de resfriamento de água estão incluídos
• Um Modelo de Cabeça Sputting também disponível.
• Requisito de tamanho alvo: 2" de diâmetro
• Faixa de espessura: 0,1 - 5 mm para alvos metálicos e não condutores (incluindo placa de apoio)
• Um Alvo de Aço Inoxidável e um Grau de Pesquisa Al2O3 alvo estão incluídos para teste de demonstração
• Alvos de pulverização catódica opcionais de 2" (ou placa de apoio) estão disponíveis mediante solicitação a um custo extra.
• Receita recomendada de pulverização catódica e dicas úteis
• Revestimento personalizado: Dois DC - Um RF; Dois RF - Um DC; Três CC; Três RF ​​(selecione nas opções do produto)
• Opcional: cabo RF de 148 cm pode ser solicitado a um custo extra para substituição

Câmara de vácuo

• Câmara de vácuo: 300 mm de diâmetro. x 300 mm Altura, em aço inox
• Viewport: Duas peças de 100 mm de diâmetro. vidro. Um fixo; um destacável para limpeza e substituição
• A tampa do tipo articulada com poste de energia pneumático permite uma fácil mudança de alvo

Estágio de Amostra

• O porta-amostras é um estágio giratório e aquecível feito de aquecedor de cerâmica com tampa de cobre
• Tamanho do porta-amostras: 140 mm de diâmetro. por. 4" bolacha máx.
• Velocidade de rotação: 1 - 20 rpm ajustável para revestimento uniforme
• A temperatura do suporte é ajustável de RT a 500 °C no máximo (2 horas no máximo) com precisão de +/- 1,0 °C por meio de um controlador de temperatura digital

Controle de Fluxo de Gás

• Dois controladores de fluxo de massa (MFC) de precisão são instalados para permitir a entrada de dois tipos de gases
  
  
• Vazão: 0 – 200 mL/min & 0 - 100ml/min ajustável no painel de controle da tela sensível ao toque
• A válvula de entrada de ar está instalada para liberação de vácuo

Estação de Bomba de Vácuo

• Uma estação de bombeamento móvel está incluída. O revestidor sputtering pode ser colocado no topo da estação
• A bomba turbo de alta velocidade na velocidade 80L/S é combinada com uma bomba mecânica de dois estágios (220 L/min) para nível de vácuo máximo e velocidade de bombeamento mais rápida
• Nível de vácuo padrão conectado com a câmara: < 4.0E-5 Torr. . (1.0E-6 Torr com cozimento na câmara)
• Opcional com custo extra
• Se escolher uma bomba turbo de alta velocidade 150L/S, o vácuo pode atingir 10-6 torr com câmara (6x10-7 torr com cozimento)
• Para o ultra-alto vácuo até 10^-7 torr, uma bomba coletora (100L/s H2 & O2) é necessária além da bomba turbo. Por favor, consulte nossos engenheiros para personalização detalhada.
• Bomba turbo de alta velocidade 150L/S
• Bomba coletora
• 

Resfriador de água

• Uma temperatura digital controlada refrigerador de água de recirculação está incluído.
• Faixa de refrigeração: 5~35 °C
• Vazão: 16 L/min
• Pressão da bomba: 14 psi

Opcional

• Quartzo preciso Monitor de Espessura de Filme é opcional, que pode estar na câmara para monitorar a espessura do revestimento com uma precisão de 0,10 Å
• Precisão Filme fino & Sistemas de Análise de Revestimento - EQ-TFMS-LD está disponível a um custo extra
• Vários alvos metálicos e de óxido de 2” estão disponíveis mediante solicitação a um custo extra. Prata epóxi e placas de suporte de cobre podem ser encomendadas na TMAX

Dimensão total

Peso Líquido do Revestimento

• 160kg

Peso de envio & Dimensões

• Total de 3 paletes
• 365 libras, 48" x 40" x 45"
  
  
• 390 libras, 48" x 40" x 49"
  
  
• 210 libras, 48" x 40" x 30"
  
  

Observância

• aprovação CE
• A certificação MET (UL 1450) está disponível mediante solicitação a um custo extra, entre em contato com nosso representante de vendas para obter a cotação.

garantia

• Um ano de garantia limitada com suporte vitalício

Notas de aplicação

• Um regulador de pressão de dois estágios (não incluído) deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão de saída do gás abaixo de 0,02 MPa para uso seguro
• Para remover o oxigênio da câmara, a TMAX sugere que você use 5% de hidrogênio + 95% de nitrogênio para limpar a câmara 2 a 3 vezes, o que pode reduzir o nível de oxigênio para < 10 ppm
• Use > Gás argônio de pureza 5N para pulverização catódica. Embora o Ar de pureza 5N geralmente contenha 10 - 100 ppm de oxigênio e H2O, dependendo do fornecedor. TMAX sugere que você use dispositivo de purificação de gás para purificar o gás antes de encher.
• Para melhor desempenho, os alvos não condutivos devem ser instalados com uma placa traseira de cobre. Por favor, consulte o vídeo de instruções abaixo para a ligação alvo
• TMAX fornece substrato de cristal único de A a Z
• TMAX Sputtering Coaters revestiram com sucesso ZnO em Al 2 O 3 substrato a 500 °C
• Teste a flexibilidade do filme fino/eletrodo revestido com Testador de dobra de mandril EQ-MBT-12-LD .
• ALTA VOLTAGEM! As cabeças de pulverização se conectam à alta tensão. Por segurança, o operador deve desligar o gerador de RF/CC antes de carregar a amostra e alterar o alvo
• NÃO use água da torneira no refrigerador de água. Deve usar refrigerantes de proteção contra ferrugem para evitar ferrugem e corrosão.