Laboratório Forno CSS de duas zonas para processamento térmico rápido de até 3" de diâmetro e 650ºC.

O OTF-1200X-RTP-II é um forno de processamento térmico rápido de duas zonas de aquecimento com tubo de quartzo O.D de 11". É projetado para PVD ou CSS ( Sublimação Espaçada Fechada ) revestimento de filme de até 3" de diâmetro ou 2"x2" quadrado. O forno é aquecido por dois grupos de aquecedores de halogênio (superior e inferior) separadamente com taxa de aquecimento máxima de 20ºC/s. Dois controladores de temperatura de precisão de 30 segmentos são incorporados com Precisão de +/-1ºC. A porta RS485 e o software de controle estão incluídos para permitir a operação do forno e o registro do perfil de temperatura via PC. É uma excelente ferramenta para pesquisar filmes finos de nova geração para células solares, como CdTe, Sulfeto e P célula solar de erovskita.

ESPECIFICAÇÕES:

Estrutura do forno & Câmara de vácuo	· Aquecedor duplo, dois controladores de temperatura, medidores de vazão de gás de dois canais integrados em uma estrutura móvel de liga de alumínio · A câmara é feita de tubo de quartzo fundido de alta pureza · Tamanho do tubo de quartzo: 11" OD/10,8" ID x 9" A · Os flanges de vácuo são feitos de aço inoxidável 316 · Dimensão total: 850(L)×745(L)×1615(A) mm
Flanges a Vácuo	· Flange superior com uma porta de vácuo KFD-25 e duas saídas de gás (requer tubo de 1/4") pode deslizar para cima ou para baixo manualmente para carregar e descarregar substrato e material evaporado facilmente · O flange inferior tem uma porta de vácuo KFD-25 com duas entradas de gás (requer tubo de 1/4") e válvulas de agulha · O flange é vedado por o-rings duplos de silicone e pode atingir a pressão máxima de vácuo de 10E-2 Torr por uma bomba mecânica de qualidade e 10E-5 Torr por uma bomba molecular (a bomba de vácuo não está incluída, solicite separadamente) · O medidor de vácuo digital anticorrosivo de precisão está no pacote padrão (Desde 2016.03.24) .
Medidores de Vazão de Gás	Dois flutuadores são instalados no painel de controle com faixa de medição de: · 16 -160 mL/m · 400 - 4000 mL/m (para fins de purga)
Aquecedor e porta-amostras	· Duas lâmpadas IR de ondas curtas como elementos de aquecimento para aquecimento rápido. · A distância entre dois aquecedores é ajustável de 10 a 50 mm · Os aquecedores são feitos de aço inoxidável com camisa de água fria para reduzir a radiação de calor e permitir um resfriamento rápido · Suporte de bolacha redondo de 3" é construído com aquecedor superior para carregar o substrato · Está incluída uma placa AlN de alta condutividade térmica (3" de diâmetro x 0,5 mm de espessura), que deve ser colocada na parte de trás do substrato para aquecê-lo uniformemente · Uma placa de grafite de 3" pode ser usada como alternativa para a placa AIN, clique na imagem abaixo para fazer o pedido. · A substituição do aquecedor de luz de halogênio está disponível a um custo extra
Controlador de temperatura	· Dois controladores digitais de temperatura de precisão com 30 segmentos programáveis ​​oferecem controle independente dos aquecedores superior e inferior · Cada controlador tem função de autoajuste PID para proteger os aquecedores de superação e função de alarme para evitar superaquecimento e quebra do par térmico · Interface de comunicação com PC e interface de comunicação o software está instalado para (clique na imagem abaixo para obter detalhes) registrar o perfil de temperatura mostrado abaixo
Temperatura de trabalho	· Temperatura máxima para cada aquecedor: <= 650ºC · Diferença máxima de temperatura entre dois aquecedores: <= 300ºC depende do espaçamento entre dois aquecedores: o Espaçamento 30mm máx. diferença de temperatura: 315ºC @ apenas fundo de aquecimento o Espaçamento 40mm máx. diferença de temperatura: 350ºC @ apenas fundo de aquecimento o Espaçamento 50mm máx. diferença de temperatura: 395ºC @ apenas fundo de aquecimento
Aquecimento & Taxa de refrigeração	· Aquecimento: < 8ºC/s (somente aquecedor único de aquecimento) · Arrefecimento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Máx.
Casal Termal	Dois pares térmicos tipo K (expostos) são instalados nos aquecedores superior e inferior separadamente
Tensão de trabalho	208 - 240VAC, monofásico, disjuntor de ar 20A
Requisito de energia	Total de 2200W (1100W para cada aquecedor)
Opcional	· É necessária uma bomba de vácuo. Faça o pedido separadamente clicando na primeira imagem à esquerda abaixo. O nível de vácuo pode atingir < = 10E-2 torr por bomba mecânica · Se você usar gás corrosivo, considere usar a bomba seca anticorrosiva mostrada na segunda imagem à esquerda abaixo (bomba Pfeiffer da Alemanha) a um custo extra · Você pode solicitar um resfriador de água recirculante para economizar a fonte de água separadamente · Você pode escolher o sistema de entrega de gás MFC digital clicando na primeira imagem à direita abaixo
garantia	Limite de um ano com suporte vitalício (peças consumíveis, como tubo de quartzo e lâmpadas de aquecimento, não são cobertas pela garantia)
Portátil, software & Controle Wi-Fi (opcional)	· Novo laptop com Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 dias de avaliação gratuita) para uso imediato. · Sistema de controle de temperatura baseado em Labview ( EQ-MTS01 ) permite ao usuário editar o perfil de temperatura, gerenciar receita de tratamento térmico, registrar e plotar dados para fornos MTI. · Um controle remoto sem fio fornece até 300 metros de alcance operacional. · Os recursos acima estão disponíveis mediante solicitação por um custo extra (até US$ 1.000). Entre em contato conosco para mais informações. · Observação: O software é compatível apenas com o controlador de temperatura Yudian da MTI ·
Notas de aplicação	Por favor, leia o artigo: Célula Solar CSS CdTe de alta eficiência
Aviso	· Os fornos tubulares com tubo de quartzo são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 Mpa. As pressões de vácuo só podem ser usadas com segurança até 1000°C. A taxa de fluxo para gases deve ser limitada a < 200 SCCM (ou 200 mL/min) para reduzir choques térmicos no tubo. · Atenção : Um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 PSI para operação segura.