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Sputtering Coater

Máquina de revestimento por pulverização catódica de magnetron DC de laboratório com alvo para revestimento de metal nobre

  • Model Number:

    VTC-16-D
  • Porto de embarque:

    Xiamen
  • MOQ:

    1
  • Pagamento:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
Detalhes do produto

Compact DC Magnetron Sputtering Coater com Alvo Dourado para Revestimento de Metal Nobre


VTC-16-D é um desktop Magnetrão Plasma Sputtering Coater com cabeçote alvo de 2", porta-amostras ajustável em altura. Especialmente adequado para revestimento de filme de ouro condutivo para amostra SEM. É um revestidor de pulverização catódica compacto projetado para revestimentos metálicos, como ouro, platina e prata. Um ouro de 2" (4N ) o alvo está incluído.

ESPECIFICAÇÕES

Característica

  • Especialmente projetado para revestir filme de ouro condutivo para amostra SEM
  • Revestimento de plasma compacto projetado para revestimentos metálicos, como ouro, platina e prata
  • Um Alvo de ouro de 2" (4N) está incluído

Tensão de entrada

  • 220 VAC 50/60 Hz, 200 W
  • < 1000 W (incluindo a potência da bomba de vácuo)
  • A energia de 110 VCA está disponível usando um Transformador de 1000 W (fusível de 15 A) . O transformador é vendido separadamente

Voltagem de saída

  • 500 VCC

Corrente de pulverização

  • Corrente de pulverização ajustável de 0 a 50 mA (máx.)
  • Medidor de corrente digital (mA)
  • Proteção contra sobrecorrente

tempo de pulverização

  • 1 -120 segundos ajustável

Câmara de amostras

  • Tubo de vidro de quartzo, diâmetro externo de 165 mm. x 150 mm DI x 150 mm Altura

Estágio de Amostra

  • 2" de diâmetro
  • altura ajustável, 30 - 80 mm da amostra ao alvo


Cabeça crepitante

  • Cabeça de pulverização de magnetron de 2"
  • Um obturador operado manualmente para proteção do alvo

Pressão de Vácuo

  • Medidor digital de pressão a vácuo (Pa)
  • Conector da bomba de vácuo KF25
  • Pressão de vácuo final 1 Pa pela bomba mecânica. A bomba não está incluída

Bomba de vácuo (opcional)


  • A bomba de palhetas rotativas de duplo estágio EQ-FYP é recomendada.
  • Opcional: você pode usar um bomba turbo para atingir o vácuo 1.0E-5 Torr por uma bomba turbo (Clique na imagem inferior direita)

Gás de entrada

  • Uma conexão de tubo tipo Swagelok de 1/4 é instalada para conectar o cilindro de gás inerte
  • Uma válvula de medição está no painel frontal para ajustar o gás de entrada

Alvo

  • Um diâmetro de 50 mm. x alvo de ouro de 0,12 mm está incluído

  • Folha de ouro de pureza 4N: 50 mm (2 polegadas) de diâmetro. x 0,12 mm (Incluído e pré-instalado no envernizador)
  • Alvos opcionais estão disponíveis (Clique abaixo para fazer o pedido)
    • Au alvo (50 mm de diâmetro x 0,12 mm, pureza 4N)
    • Pt alvo (50 mm de diâmetro x 0,12 mm, pureza 4N)
    • Ag alvo (50 mm de diâmetro x 0,5 mm, pureza 4N)

Este modelo é adequado para revestir Ouro, Prata e Platina. Não é adequado para revestir materiais metálicos leves, como Al, Mg, Zn ou Alvo de carbono devido à baixa energia. Por favor, considere nosso revestidor de pulverização catódica de magnetron DC/RF de alta potência ou revestidor de evaporação térmica.

Dimensão e peso do produto

  • 460 mm (L) × 330 mm (L) × 520 mm (A)
  • 20kg

Peso de envio & Dimensão

  • 80 libras
  • 45" x 45" x 40"


Observância

  • Certificado CE
  • Pronto para passar na certificação UL/CSA a um custo extra.

garantia

  • Um ano limitado com suporte vitalício

Notas de aplicação


  • Para obter a melhor força de adesão filme-substrato, limpe a superfície do substrato antes de revestir:
    • Limpeza ultrassônica (Clique na imagem abaixo para solicitar) com os seguintes banhos sequenciais - (1) acetona, (2) álcool isopropílico - para remoção de óleo e graxa. Seque o substrato com N2 e, em seguida, leve ao forno a vácuo para remover a umidade absorvida
    • A limpeza por plasma (clique na imagem abaixo para fazer o pedido) pode ser necessária para rugosidade da superfície, ativação de ligações químicas de superfície ou remoção de contaminação adicional
    • Uma fina camada tampão (~ 5 nm), como Cr, Ti, Mo, Ta, pode ser aplicada para melhorar a adesão de metais e ligas




  • Um regulador de pressão de dois estágios (não incluído) deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão de saída do gás abaixo de 0,02 MPa para uso seguro. Use > Gás Ar de pureza 5N para pulverização catódica
  • O revestidor por pulverização catódica pode ser colocado em uma caixa de luvas de gás Ar e N2 para revestimento
  • Aplique revestimento múltiplo para aumentar a espessura do revestimento, deixe a máquina esfriar por alguns minutos entre cada uso, pois não possui resfriamento a água
  • ALTA VOLTAGEM! As cabeças de pulverização se conectam à alta tensão. Por segurança, o operador deve desligar o equipamento antes das operações de carregamento de amostra e mudança de alvo
  • Este modelo não é adequado para revestir materiais metálicos leves como Al, Mg, Zn ou Alvo de carbono devido à baixa energia. Por favor, considere nosso revestidor de pulverização catódica magnetron ou revestidor de evaporação térmica. (Clique nas fotos abaixo para detalhes)

Coater