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produtos
PECVD Furnace

Forno de pecvd vertical de 1200 ° c com gerador de rf, mistura de gás e sistema de bombeamento

  • Model Number:

    TMAX-VerticalPECVD
  • Pagamento:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
Detalhes do produto

Forno de pecvd vertical de 1200 ° c com gerador de RF, mix de gás & amp; sistema de bombeamento

tmax-1200-pecvd série química deposição de vapor (cvd) e deposição de vapor químico com plasma aprimorado Os fornos de tubos divididos em várias zonas (pecvd) apresentam o famoso kanthal ® (Suécia) fio elementos de aquecimento embutidos em alta qualidade mitsubishi ® (japão) alumina isolamento de fibra. toda a carcaça de aço de dupla camada garante durabilidade e ajuda minimizar a perda de calor na superfície externa.


operação do forno é controlado por shimaden ® (japão) Controlador digital de 40 segmentos com porta de comunicação digital rs485 integrada adaptador USB, permitindo que o usuário se conecte a um PC para controle remoto e monitoramento do forno. você também pode salvar ou exportar resultados do teste.
todos os nossos fornos são ce compatível.

características

· compacto, portátil e design leve.

· menor processamento as temperaturas necessárias são comparadas aos cvds convencionais.

· o estresse do filme pode ser controlado por técnicas de mistura de alta / baixa frequência.

· câmara de forno dividido para acesso rápido e fácil ao tubo.

· pacote padrão inclui conjunto de flanges de vedação a vácuo em aço inoxidável com válvulas e medidor de pressão.

· baseado em microprocessador O controle PID com auto-ajuste fornece um ótimo processo térmico com o mínimo ultrapassagem.

· atmosfera múltipla processos em um único ciclo são possíveis (por exemplo: queima do aglutinante no ar e peças sinterização sob vácuo forte ou ambiente de gás inerte.)

· amperímetro embutido e voltímetros duplos para fácil monitoramento e solução de problemas.

· computador embutido interface.

· tipo de longa vida k par termoelétrico.

· opção de forno deslizante fornece taxas de resfriamento ultra-rápidas

segurança

· proteção contra superaquecimento fecha forno se a temperatura estiver fora da faixa aceitável (consulte a seção manual do controlador) ou quando o termopar está quebrado ou com mau funcionamento.

· proteção contra falha de energia retoma a operação do forno logo após o ponto de falha quando a energia é restabelecido.

Atenção! nunca encha o forno com explosivos gases, incluindo hidrogênio, monóxido de carbono e metano.


forno, bomba de vácuo e especificações do sistema de mistura de gás

material do tubo

quartzo

elemento de aquecimento

kanthal ® (suécia)   fio da bobina de resistência

máx. vs constante   temperaturas de trabalho

1200 ° c máx. e   1100 ° c constante

par termoelétrico   tipo

k

revestimento refratário

mitsubishi ® (japão)   Alumina de fibra de 1500 grau

temperatura   controlador

shimaden ® (japão)   fp93 com 4 programas e 40 segmentos
(ou seja, 4 x 10 segmentos ou 2 x 20 segmentos)

aquecimento máximo   & amp; taxa de refrigeração

& lt; 30 ° c / min

temperatura   precisão do controlador

+/- 1 ° c (+/-   1,8 ° f)

vedação a vácuo   kit flange

aço inoxidável   flanges de vedação a vácuo com um medidor de vácuo,
duas válvulas e quatro blocos térmicos de cerâmica.

elétrico   requisitos

220vac, 3.5kw,   Fase única

especificações do gerador de rf

elétrico   requisitos

208-240 volts   50/60 hz

potência de saída

5 a 500 watts,   ajustável em +/- 1% de passo

frequência rf

13,56 mhz com   +/- 0,005% de estabilidade

poder de reflexão

10 watts máx.

Coincidindo

automático

porta de saída rf

50 Ω, tipo n,   fêmea

resfriamento

ar

Descrição parcial

quantidade

imagem da peça

forno de tubo dividido

1 conjunto

gás multicanal   sistema de abastecimento

1 conjunto

potência de plasma rf   fornecimento (opcional)

1 conjunto

bomba de vácuo e   gabinete (opcional)

1 conjunto

tubo de quartzo

1 pc

tubo de teflon (n   significa número de tubos)

n * 5

aço inoxidável   flanges de vedação a vácuo c / medidor de pressão

1 conjunto

aço inoxidável   gancho

1 pc

alumina cerâmica   bloco térmico

2 pares

luvas térmicas

1 par

Temperatura alta   al 2 o 3 alumina   cadinho

5 peças

fusível de reposição

2 peças

computador usb / rs485   kit de interface

1 conjunto

forno e   manual do controlador shimaden

2 peças

PECVD Furnace


1 nós fornecemos máquinas com suporte à tecnologia de bateria.

2) Nós fornecemos conjunto completo de equipamento de bateria de lítio para pesquisa em laboratório, pesquisa em escala piloto e produção lin e


laboratory muffle furnace


1 pacote exportado padrão: proteção anticolisão interna, embalagem de caixa de madeira para exportação externa.

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com as necessidades dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelo dano durante o processo de envio, mudará a parte do dano para você de graça.