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Sliding PECVD System

Sistema de pecvd deslizante de zonas duplas de 1200 ℃

  • Model Number:

    TMAX-1200-PECVD

  • Porto de embarque:

    Xiamen

  • Pagamento:

    L/C D/A D/P T/T Western Union

  • Delivery Time:

    5 days
Detalhes do produto

Sistema de pecvd deslizante de zonas duplas de 1200 ℃


tmax-1200-1200 sistema pecvd de área de duas temperaturas do tipo escorregamento é composto por tmax-1200-1200 forno de tubo de vácuo de duas temperaturas do tipo slip, câmara de vácuo de quartzo, rádio fonte de alimentação de freqüência, sistema de fornecimento de gás gx, sistema de bombeamento e vácuo sistema de medição.

principais características:

1. o gás em a câmara de vácuo de quartzo é alterada para o estado iônico pela fonte de alimentação de rf.

2. pecvd é cvd abaixo do normal para deposição de vapor químico

3. o estresse de os filmes depositados podem ser controlados pela frequência da fonte de alimentação de rf

4. pecvd tem alta taxa de deposição, boa uniformidade, consistência e estabilidade do que o normal cvd.

5. amplamente utilizado no crescimento de vários filmes, como siox, sinx, sioxny e amorfo silício (a-si: h), etc.

esse slide A técnica do sistema pecvd de temperatura dupla tl1200-1200 é um aquecimento rápido, técnica de sistema pecvd de temperatura de refrigeração, está na faixa de temperatura de sistema pecvd duplo instalado em um par de trilhos deslizantes, técnica disponível sistema deslizante manual.

aquecimento e taxa de resfriamento de até 100 ° c / min.

para obter o aquecimento mais rápido, aqueça o fogão até a temperatura definida de antemão e depois mova o forno para a posição da amostra.

para obter o resfriamento mais rápido, mova o fogão para a outra extremidade após o aquecimento da amostra.

aquecimento e taxa de resfriamento em ambiente de vácuo ou gás inerte pode chegar a 10 ° c / s, é um custo de aquecimento rápido e faixa de temperatura de refrigeração do sistema pecvd duplo técnica.

1. fio de resistência kanthal a1 da suécia

kanthal resistência chinesa do fio original a1 forno de arame vs   forno de fio de resistência importado

(1), a alta temperatura da superfície pode chegar a 1420 ℃

(2) a superfície é de aço inoxidável (muito brilhante, o cliente deve prestar atenção), não enferruja e o tempo de uso não diminui fora da escória.

(3) dados do fio de resistência kanthal são baixados

(4) website do fio de resistência kanthal: www.kanthal.com

(5) a resistência é equilibrada e o campo de temperatura é igualmente bom

a maioria dos fabricantes usa liga fe-cr-al dopada por mo fio de resistência, que

às vezes a resistência é desigual e parte do calor é pequena                                           kanthal a1 resistência é uniforme e com equilíbrio de calor, bom campo de temperatura                                                                                                                                                                       efeito

2. instalação de ar interruptor e protetor de vazamento:

quando uma corrente elétrica ou vazamento, uma reunião vazia desconecta automaticamente.

3) pode se conectar com o computador

este forno está equipado com interface de comunicação e software, pode ser diretamente através do controle do forno de cada parâmetro e pode ser observado no computador pv no fogão e sv valor da temperatura e operação do instrumento, a temperatura real do computador de desenho da curva da fornalha em tempo real, e pode manter os dados de temperatura de a qualquer momento, pode acessar a qualquer momento

4) câmara

(1 ) alumina pura de alta qualidade e policristalina forno curado por fibra com sucção a vácuo e filtro de moldagem.

(2) adotar a tecnologia japonesa para formar.

(3) espaçamento e inclinação do fio de resistência no forno são organizados de acordo com a melhor tecnologia térmica do japão, e os o campo de temperatura é simulado pelo software térmico

(4) usando 4 semanas aquecimento, a temperatura é mais equilibrada

5. ul opcional placa elétrica certificada (toda a certificação ul de produtos importados aparelhos elétricos)

6. gatilho

arranque suave gatilho limitador de corrente                           a maioria dos fabricantes usa gatilhos não limitativos de xiamen bode

1 gatilho de mudança de fase (com partida suave e limitação de corrente função)

2. função de limitação de corrente, não importa como ajustar o aquecimento tempo que forno elétrico após a corrente secundária do transformador é limitado a 170a ou menos proteção limitada do equipamento. gatilho não limitativo se a taxa de aquecimento está definida incorretamente ou muito rápido. corrente atual baixa é muito grande o dispositivo tropeça ou queima.

3 função de partida suave, a corrente aumentará lentamente a atual o impacto do elemento de aquecimento é pequeno é propício para o prolongamento da vida útil do elemento de aquecimento

4 a função de proteção se a corrente exceder o limite atual o gatilho cortará automaticamente a função de gatilho para cortar o forno de proteção atual.

7. ul transformador certificado

1 o cabo do transformador é puro cobre

2 o transformador soa pequeno

3 a temperatura do transformador é baixo

8. uma variedade de opções para escolher uma variedade de flanges (diâmetro de 25 a 250mm)

modelo

tmax-1200-1200 - i

tmax-1200-1200-ii

tmax-1200-1200-iii

tmax-1200-1200-iv

poder

3 kw

3 kw

4 kw

4 kw

tubo   Tamanho

120   (od) x1800mm de diâmetro

60   (od) x1800mm de diâmetro

80   (od) x1800mm de diâmetro

100   (od) x1800mm de diâmetro

No geral   dimensões (lxdxh)

1800   x480x680

1800   x410x610

1800   x410x610

1800   x460x660

a   tensão de alimentação

220 v

deslizar   material ferroviário

304   aço inoxidável

deslizante   modo

inoxidável   rolamento de aço

número   de fase

solteiro   Estágio

aquecimento   elemento

importar   fio de resistência a1 canthal sueco clique no download de dados

a   modo de controle

usando o termômetro elétrico de controle de programa yu (padrão)
1. ajuste de pid inteligente de temperatura de controle de 30 programas.
2. o circuito de aquecimento do forno elétrico pode ser cortado automaticamente   quando estiver protegido por quente ou quebrado acidentalmente. (quando o forno   temperatura exceder 1200 graus ou o termopar estiver quebrado, o relé de corrente alternada   no circuito principal será desconectado automaticamente, o circuito principal é   quebrada, a luz no painel está apagada, apagada, a proteção limitada   forno elétrico.
3. com interface de comunicação 485 (padrão e padrão para escolher   Programas)
4. tem a função de proteção contra falha de energia, ou seja, quando a energia   está desligado, o programa não inicia a partir da temperatura inicial, mas o   o forno começará a subir quando a energia estiver desligada.
o instrumento tem a função de auto-ajuste de temperatura

(para substituir o instrumento importado, precisamos pagar   outra taxa.)

fp93   mesa de controle de temperatura (shimaden) europeu   instrumentos

instrumento touchscreen

a   modo de controle de temperatura

pid

quebrado   proteção e exibição uniformes

sim

sobre   proteção de temperatura

sim

sobre   proteção atual

sim

ao controle   precisão

+ / -   1 1 ℃

a   desencadear

Estágio   gatilho de mudança

elétrico   eletrodomésticos

zhejiang   chint

silício   retificador controlado

106 / 16e   portão oeste, alemanha

a   temperatura mais alta

temperatura   zone1: 1200 ℃ zona de temperatura 2: 1200 ℃

a   temperatura nominal

temperatura   zone1: 1100 ℃ zona de temperatura 2: 1100 ℃

aquecimento   taxa

a   20 ℃ / min ou menos (pode modificar de acordo com o requisito)

recomendado   taxa de aquecimento

10 ℃ / min ou menos

modelo   de termopar

zonas   1: faixa de temperatura do tipo k 2: tipo k

aquecimento   comprimento

zonas   1: faixa de temperatura de 200 mm. 2: 200 mm

elétrico   certificação

ce

em torno da   temperatura da superfície

45 ℃ ou menos

rf   fonte de energia

(gerador de plasma)

poder   faixa de saída

0-500   W

máximo   poder refletido

200   W.

trabalhando   frequência

rf:   13,56 mhz mais ou menos 0,005%

poder   estabilidade

+ / -   0,1%

harmônico   componente

- 50   ou menos dbc

rf   largura

0-600   - mm é ajustável

Coincidindo   modo

automático

resfriamento   modo

ar   frio

ruído

a   & lt; 50 db

a   interface de radiofrequência

50 Ω   n - tipo

entrada   poder

208-240   - v 50/60 hz

a Principal   parâmetros do sistema de fornecimento de gás gx

massa   medidor de vazão
a faixa padrão
usando o controlador de fluxo de prótons 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(você pode escolher a faixa da faixa e o tipo de gás)
pressão máxima de trabalho 3 mp
a precisão de mais ou menos 1,5%
a queda de pressão & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
precisão de repetição mais ou menos 0,2% f.s

canais:

1, 2,   3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional)

articulação   tipo

Duplo   conector de aço inoxidável cassete

sistema   faixa de pressão de trabalho

0.1 ~   0,5 mpa

trabalhando   temperatura

5-45 ℃

pressão   relógio a vácuo

0.1 ~   0,15 mpa a 0,01 mpa / caixa

estático   Câmara de mistura

dia50   x 400 mm

interface

dia6   1/4 "

a   fonte de energia

220 v

Tamanho

600   x600x600

ondulado   tubo

kf25x1000mm

a   grau de vácuo pode ser alcançado com este sistema

10-1   o pa

vácuo   válvula defletora

kf25

vrd   a 8 bomba de vácuo

modelo

vrd   para 8

limitante   pressão parcial

5   x10-2 pa

entrada   interface de escape

kf25

motor   Rapidez

1440   rpm

Extração   taxa

2.2   l / s

motor   poder

0,4   kw

perfeer   bomba de raízes multi-estágio isenta de óleo acp1 (plano 2)

modelo

acp15

poder   fornecem

ac100   ~ 240v 50 / 60hz

poder

450 w

escape   interface

kf25

peso

25 kg

a   a taxa máxima de vazamento de hélio é

5 ·   10-8 pa m3 / s

extremo   grau de vácuo

0,02   torr

a   taxa de extração é

14 m3   / h

modelo

zdr -   1 1

poder

25 w.

vácuo   faixa de medição de graus

0,1-10   5 pa

resistência   silício

o que   zj teve que 52 t

Suécia   (inficon) medidor de vácuo de capacitância pirani (opcional)

modelo

pcg554

entrada   Voltagem

24v   1a dc (equipado com transformador de 220v)

vácuo   interface de medidor

kf16

digital   exibição

digital   (tamanho da tela 20x14mm), cuja unidade de exibição de dados é torr

produtos   Tamanho

46mm   x 28 mm x 126 mm (l x l x h)

a   peso do

5 libras

detecção   de gás

vários   gases podem ser detectados, incluindo gases misturados, precisos e repetíveis.

se   o anti-corrosão

corrosão   proteção

a   tempo de resposta

30 ms   ou menos

medindo   alcance

3.8   x10-5-1125 torr.

molecular   unidade de bomba (opcional)

unidade   tensão de entrada

380 v   / 220 v

ondulado   tubo

kf40x1000

vácuo   válvula defletora

kf40

caso   Tamanho

600   x600x600

molecular   modelo de bomba

fj620

entrada   Voltagem

380 v

molecular   flange de entrada da bomba

dn160

molecular   taxa de bombeamento da bomba l / s (para ar)

600

molecular   pressão limite da bomba (pa)

6 x   10-7

resfriamento   sistema

água   resfriado

resfriamento   pressão da água (mpa)

0,1   para 0,2

resfriamento   temperatura da água

& lt;   25 ℃ & lt; p = "" & gt;

a   Temperatura ambiente

0 ~   40. ℃

sugerido   pressão inicial

& lt;   100 pa & lt; p = "" & gt;

motor   bomba de vácuo rvp - 6

poder

0,75   kw

Voltagem

380 v

Rapidez

1450   rpm

entrada   diâmetro

kf25   / kf40

bomba   taxa de bombeamento (l / s)

6

final   pressão

4   x10-2 pa

alemão   bomba de vácuo pfeiffer

Voltagem

220 v

poder

110   W.

Extração   interface

kf40

a   peso do

150   kg

bomba   velocidade da bomba frontal

0,9 m   3 / h

Extração   taxa (n2)

33   Senhora

composto   Medidor de Vácuo

composto   modelo de medidor de vácuo

zdf

a   fonte de energia

220 v   55 w

ao controle   precisão

mais   ou menos 1%

vácuo   faixa de medição

10-5-10   5 pa

partes

número

tl1200-1200   forno de tubo

1 conjunto

quartzo   tubo

1 1

ss   mesa

1 conjunto

inoxidável   gancho de aço

1 1

alumina   ficha de forno

3

Alto   luvas de temperatura

1 1   par

alumina   cadinho

1 1

Ｋ par termoelétrico

1 1

485   transformar interfaces e software （ opcional ）

1 conjunto

instrução   livro

1 1

mesa   Apoio, suporte

1 1

gás   sistema de abastecimento

1 1

vs-0.1air   sistema de extração

1 1

rf   poder

1 1

virola

4 个

abaixo

1 1

vácuo   válvula defletora

1 1

cyl   conector （ n significa número de canais ）

n

válvula   conector

2

ptfe   pipe (n significa número de canais)

n * 5

PECVD Furnace


1 nós fornecemos máquinas com suporte à tecnologia de bateria.

2) Nós fornecemos conjunto completo de equipamento de bateria de lítio para pesquisa em laboratório, pesquisa em escala piloto e produção lin e


laboratory muffle furnace


1 pacote exportado padrão: proteção anticolisão interna, embalagem de caixa de madeira para exportação externa.

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com as necessidades dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelo dano durante o processo de envio, mudará a parte do dano para você de graça.




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