Vácuo p árbitro s et

( O eu necessito) r otário v vácuo p ump+( o estou livre) t urbano m oleculano p conjunto de arbitragem

Rotativo p arbitragem s fez xixi

50Hz: 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2 m³ /h (5,2 L/s)

Molecular p arbitragem s fez xixi

300 l/ s

Vácuo eu imitar

5* 10 ^-5 pa

Trabalhando p ressegurar

0,5-5 Pa

aspirar t eu mim

>10 Min(10 ^-3 Pa)

Vácuo m facilidade

Alcance de medição da atmosfera até 1*10 ^-6 pa

Gás c controlar

Gás f baixo c controlador

Câmara s tamanho

φ260*200mm (altura) m etal

Magnetrão t argumentar s fonte

Tamanho alvo φ 50*3mm(Cu)/ t fonte de arget: W comer m agnético s substância / m materiais

Operação m método

Manual de Instruções eu

Peso/ s tamanho

100kg/610mm comprimento x 420mm largura x 490mm de altura

Poder s abastecer

CA 110 V 60 Hz ou CA 220 V 50 Hz

Poder c consumo

<3000W

Resfriamento m método

Ar c ooling( p ump)+ W depois c ooling( s puttering t Arget)

garantia

Garantia limitada de um ano com suporte vitalício ao produto