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PECVD Furnace

3 zonas de temperatura 150 mm od forno pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200-1200

  • Pagamento:

    L/C D/A D/P T/T Western Union

  • Delivery Time:

    5 days
Detalhes do produto

3 zonas de temperatura 150 mm od forno pecvd


tmax-1200-1200-1200 sistema é composto por forno de tubo de vácuo TL1200, câmara de vácuo de quartzo, fonte de alimentação RF, sistema de fornecimento de gás gx, sistema de bombeamento e sistema de medição de vácuo.

principais características:

1. o gás em a câmara de vácuo de quartzo é alterada para o estado iônico pela fonte de alimentação de rf.

2. pecvd é cvd abaixo do normal para deposição de vapor químico.

3. o estresse de os filmes depositados podem ser controlados pela frequência da fonte de alimentação RF.

4. pecvd tem alta taxa de deposição, boa uniformidade, consistência e estabilidade do que o DVD normal.

5. amplamente utilizado no crescimento de vários filmes, como siox, sinx, sioxny e amorfo silício (a-si: h), etc.

o tl1200 - técnica do sistema pecvd para o elemento de aquecimento do fio de resistência kanthal sueco, usando estrutura de casca dupla e tabela de controle de temperatura de 30 programas, gatilho de mudança de fase, controle de tiristor, forno usando policristalino material de fibra de alumina, pode vedar o flange de aço inoxidável nas duas extremidades do tubo do forno, instalação de flange de aço inoxidável tem uma boca, válvula e manômetro, vácuo, grau de vácuo pode chegar a 10-3 pa, campo de baixa temperatura balanceamento, temperatura da superfície, taxa de temperatura do elevador, economia de energia, preço concessões etc.

1. fio de resistência kanthal a1 da suécia

kanthal resistência chinesa do fio original a1 forno de arame vs   forno de fio de resistência importado

(1), a alta temperatura da superfície pode chegar a 1420 ℃

(2) a superfície é de aço inoxidável (muito brilhante, o cliente deve prestar atenção), não enferruja e o tempo de uso não diminui fora da escória.

(3) dados do fio de resistência kanthal são baixados

(4) website do fio de resistência kanthal: www.kanthal.com

(5) a resistência é equilibrada e o campo de temperatura é igualmente bom

a maioria dos fabricantes usa liga fe-cr-al dopada por mo fio de resistência, que

às vezes a resistência é desigual e parte do calor é pequena                                           kanthal a1 resistência é uniforme e com equilíbrio de calor, bom campo de temperatura                                                                                                                                                                       efeito

2. instalação de ar interruptor e protetor de vazamento:

quando uma corrente elétrica ou vazamento, uma reunião vazia desconecta automaticamente.

3) pode se conectar com o computador

este forno está equipado com interface de comunicação e software, pode ser diretamente através do controle do forno de cada parâmetro e pode ser observado no computador pv no fogão e sv valor da temperatura e operação do instrumento, a temperatura real do computador de desenho da curva da fornalha em tempo real, e pode manter os dados de temperatura de a qualquer momento, pode acessar a qualquer momento

4) câmara

(1 ) alumina pura de alta qualidade e policristalina forno curado por fibra com sucção a vácuo e filtro de moldagem.

(2) adotar a tecnologia japonesa para formar.

(3) espaçamento e inclinação do fio de resistência no forno são organizados de acordo com a melhor tecnologia térmica do japão, e os o campo de temperatura é simulado pelo software térmico

(4) usando 4 semanas aquecimento, a temperatura é mais equilibrada

5. ul opcional placa elétrica certificada (toda a certificação ul de produtos importados aparelhos elétricos)

6. gatilho

arranque suave gatilho limitador de corrente                           a maioria dos fabricantes usa gatilhos não limitativos de xiamen bode

1 gatilho de mudança de fase (com partida suave e limitação de corrente função)

2. função de limitação de corrente, não importa como ajustar o aquecimento tempo que forno elétrico após a corrente secundária do transformador é limitado a 170a ou menos proteção limitada do equipamento. gatilho não limitativo se a taxa de aquecimento está definida incorretamente ou muito rápido. corrente atual baixa é muito grande o dispositivo tropeça ou queima.

3 função de partida suave, a corrente aumentará lentamente a atual o impacto do elemento de aquecimento é pequeno é propício para o prolongamento da vida útil do elemento de aquecimento

4 a função de proteção se a corrente exceder o limite atual o gatilho cortará automaticamente a função de gatilho para cortar o forno de proteção atual.

7. ul transformador certificado

1 o cabo do transformador é puro cobre

2 o transformador soa pequeno

3 a temperatura do transformador é baixo

8. uma variedade de opções para escolher uma variedade de flanges (diâmetro de 25 a 250mm)

modelo

tmax-1200-1200-1200 - Eu

tmax-1200-1200-1200 -ii

tmax-1200-1200-1200 -iii

tmax-1200-1200-1200 -iv

tamanho do tubo

120 (od) x1800mm de diâmetro

60 (od) x1800mm de diâmetro

Diâmetro de 80 (od) x1800mm

Diâmetro de 100 (od) x1800mm

dimensões totais (lxdxh)

1800 x480x680

1800 x410x610

1800 x410x610

1800 x460x660

a tensão da fonte de alimentação

220 v

deslize o material do trilho

Aço inoxidável 304

modo deslizante

rolamento de aço inoxidável

número de fase

Fase única

elemento de aquecimento

importe resistência canthal sueca a1   fio clique no download de dados

o modo de controle

usando o controle de programa elétrico yu   termômetro (padrão)
1. ajuste de pid inteligente de temperatura de controle de 30 programas.
2. o circuito de aquecimento do forno elétrico pode ser cortado automaticamente   quando estiver protegido por quente ou quebrado acidentalmente. (quando o forno   temperatura exceder 1200 graus ou o termopar estiver quebrado, o relé de corrente alternada   no circuito principal será desconectado automaticamente, o circuito principal é   quebrada, a luz no painel está apagada, apagada, a proteção limitada   forno elétrico.
3. com interface de comunicação 485 (padrão e padrão para escolher   Programas)
4. tem a função de proteção contra falha de energia, ou seja, quando a energia   está desligado, o programa não inicia a partir da temperatura inicial, mas o   o forno começará a subir quando a energia estiver desligada.

o instrumento tem a função de auto-ajuste de temperatura

(para substituir o instrumento importado,   precisamos pagar outra taxa.)

fp93   mesa de controle de temperatura (shimaden)

europeu   instrumentos tela sensível ao toque   instrumento

o modo de controle de temperatura

pid

proteção e exibição quebradas

sim

sobre a proteção da temperatura

sim

sobre a proteção atual

sim

controle de precisão

+ / - 1 ℃

o gatilho

gatilho de mudança de fase

aparelhos elétricos

zhejiang chint

retificador controlado por silicone

106 / 16e west gate, alemanha

a temperatura mais alta

zona de temperatura ℃ temperatura   zona 2: 1200 ℃

a temperatura nominal

zona de temperatura1: 1100 ℃ temperatura   zona 2: 1100 ℃

taxa de aquecimento

os 20 ℃ / min ou menos   (pode modificar de acordo com a exigência)

taxa de aquecimento recomendada

10 ℃ / min ou menos

modelo de termopar

zonas 1: faixa de temperatura do tipo k   2: tipo k

comprimento de aquecimento

zonas 1: faixa de temperatura de 200 mm.   2: 200 mm

certificação elétrica

ce

temperatura da superfície circundante

45 ℃ ou menos

fonte de alimentação rf

(plasma   gerador)

faixa de saída de potência

0-500 w

potência máxima refletida

200 w.

freqüência de trabalho

rf: 13,56 mhz mais ou menos 0,005%

estabilidade de poder

+ / - 0,1%

componente harmônico

- 50 ou menos dbc

largura de rf

0-600 - mm é ajustável

modo de correspondência

automático

modo de refrigeração

ar frio

ruído

o & lt; 50 db

a interface de radiofrequência

50 Ω n - tipo

potência de entrada

208-240 - v 50/60 hz

principais parâmetros de fornecimento de gás gx   sistema

Medidor de fluxo de massa
a faixa padrão
usando o controlador de fluxo de prótons 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(você pode escolher a faixa da faixa e o tipo de gás)
pressão máxima de trabalho 3 mp
a precisão de mais ou menos 1,5%
a queda de pressão & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
precisão de repetição mais ou menos 0,2% f.s

canais:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional)

tipo de junta

cassete dupla de aço inoxidável   conector

faixa de pressão de trabalho do sistema

0.1 ~ 0.5 mpa

Temperatura de trabalho

5-45 ℃

relógio de vácuo de pressão

0,1 ~ 0,15 mpa a 0,01 mpa / caixa

câmara de mistura estática

dia50 x 400 mm

interface

dia6 1/4 "

a fonte de energia

220 v

Tamanho

600 x600x600

tubo corrugado

kf25x1000mm

o grau de vácuo pode ser alcançado com   este sistema

10-1 o pa

válvula defletora a vácuo

kf25

bomba de vácuo vrd a 8

modelo

vrd a 8

limitando a pressão parcial

5 x10-2 pa

interface de exaustão de entrada

kf25

velocidade do motor

1440 rpm

taxa de extração

2,2 l / s

potência do motor

0.4 kw

multi-estágio sem óleo perfeer acp1   bomba de raízes (plano 2)

modelo

acp15

fonte de energia

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

poder

450 w

interface de escape

kf25

peso

25 kg

a taxa máxima de vazamento de hélio é

5 · 10-8 pa m3 / s

grau extremo de vácuo

0,02 torr

a taxa de extração é

14 m3 / h

modelo

zdr - 1

poder

25 w.

faixa de medição do grau de vácuo

0,1-10 5 pa

resistência de silicone

o que zj tinha que 52 t

capacitância de pirani da suécia (inficon)   medidor de vácuo (opcional)

modelo

pcg554

tensão de entrada

24v 1a dc (equipado com 220v   transformador)

interface de medidor de vácuo

kf16

tela digital

display digital (tamanho da tela 20x14mm),   cuja unidade de exibição de dados é torr

tamanho do produto

46mm x 28mm x 126mm (L x L x A)

o peso do

5 libras

detecção de gás

vários gases podem ser detectados   incluindo gases mistos, precisos e repetíveis.

se a anticorrosão

proteção contra corrosão

o tempo de resposta

30 ms ou menos

faixa de medição

3,8 x10-5-1125 torr.

unidade de bomba molecular (opcional)

tensão de entrada da unidade

380 v / 220 v

tubo corrugado

kf40x1000

válvula defletora a vácuo

kf40

tamanho da caixa

600 x600x600

bomba molecular

modelo de bomba molecular

fj620

tensão de entrada

380 v

flange de entrada da bomba molecular

dn160

taxa de bombeamento da bomba molecular l / s   ar)

600

pressão limite da bomba molecular (pa)

6 x 10-7

sistema de refrigeração

água de refrigeração

pressão da água de resfriamento (mpa)

0,1 a 0,2

temperatura da água de resfriamento

& lt; 25 ℃ & lt; p =   "" & gt;

a temperatura ambiente

0 ~ 40 ℃

pressão inicial sugerida

& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

bomba de vácuo para motor rvp - 6

poder

0,75 kw

Voltagem

380 v

Rapidez

1450 rpm

diâmetro de entrada

kf25 / kf40

taxa de bombeamento da bomba (l / s)

6

pressão final

4 x10-2 pa

bomba de vácuo pfeiffer alemão

Voltagem

220 v

poder

110 w.

interface de extração

kf40

o peso do

150 kg

velocidade da bomba da bomba frontal

0,9 m 3 / h

taxa de extração (n2)

33 m / s

medidor de vácuo composto

modelo de medidor de vácuo composto

zdf

a fonte de energia

220 v 55 w

controle de precisão

mais ou menos 1%

faixa de medição do medidor de vácuo

10-5-10 5 pa

PECVD Furnace


1 nós fornecemos máquinas com suporte à tecnologia de bateria.

2) Nós fornecemos conjunto completo de equipamento de bateria de lítio para pesquisa em laboratório, pesquisa em escala piloto e produção lin e


laboratory muffle furnace


1 pacote exportado padrão: proteção anticolisão interna, embalagem de caixa de madeira para exportação externa.

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com as necessidades dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelo dano durante o processo de envio, mudará a parte do dano para você de graça.




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fornalha tubular pecvd Fornalha do pecvd de 3 temperaturas fornalha pecvd
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