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Sistema de controle de medidor de fluxo de massa programável Sistema MFS
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TMAX-MFSPorto de embarque:
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Na próxima:
bomba molecular
Sistema de controle de medidor de fluxo de massa programável Sistema MFS
1. O gás flui para fora do cilindro, através da válvula redutora de pressão, através do tubo de Teflon para a entrada do sistema de abastecimento de gás, depois através do medidor de vazão de prótons para controlar o fluxo de gás, depois através do tanque de mistura de ar e depois para entrada de ar do forno. O gás sai do tubo de saída de ar, através da válvula de três vias, uma extremidade é conectada à bomba de vácuo e a outra extremidade é conectada à saída de ar.
2. O tanque de mistura de ar é conectado com um medidor de pressão, e o painel de exibição do medidor de pressão e o medidor de fluxo de prótons são instalados no mesmo painel.
3. Cada gasoduto tem uma válvula de parada de alta pressão para garantir a segurança.
4. O caminho de gás adota rotâmetro de gás de alta precisão, e o caminho de gás interno adota tubo de Teflon, que tem boa resistência à corrosão.
5. Todas as juntas são conectadas por ponteira, com boa estanqueidade e alta resistência à pressão.
6. Composição do equipamento: tubulação de entrada de ar multicanal, medidor de vazão de prótons, tanque de mistura de ar e tubulação de saída de ar
Recursos
1. Vários canais de entrada de ar são personalizados pelos clientes, interface padrão, conexão conveniente
2. A tela sensível ao toque de cristal líquido controla e insere o fluxo de gás de cada canal e visualiza a curva de fluxo de gás de cada canal em tempo real
3. Cada caminho de gás é fornecido com válvula de parada de alta pressão, o que é conveniente para cortar o caminho de gás
Especificações
Caminho do gás /canal |
2/3/4/5/6/7/8/9/10 selecionável |
Tipo de gás |
Escolha pelo cliente |
Faixa do medidor de vazão |
5—500SCCM;1—10SLM selecionável |
tensão de trabalho |
220v/50Hz |
Diferença de pressão de trabalho |
0,1-0,5MPa |
pressão máxima |
3MPa |
Precisão |
±1,5% F.S |
Linear |
±0,5~1,5% F.S |
Tempo correspondente do medidor de fluxo de prótons |
<1S |
faixa de medição |
0,1-0,15MPa |
tanque de mistura |
SS 30 4 |
Entrada e saída de ar |
φ 6mm Interface de ponteira de aço inoxidável |
Material do tubo |
Tubo de aço inoxidável de 6 mm de diâmetro é usado para tubo interno; Tubo de Teflon de 6mm é usado para tubo externo |
Sistema de controle |
Sistema de controle PLC, entrada de tela sensível ao toque LCD, controle independente de cada caminho de gás |