PECVD giratório tubo fornalha (60 mm de diâmetro externo) com único aquecimento zona a 1200 ° C Max.

TMAX-DSP-1200PECVD-XZ s é três zona 1200ºC PE-CVD tubo fornalha sistema consiste de 500W fonte de plasma RF, fornalha de tubo com um canal integrado precisão medidor de vazão em massa com gás tanque, de mistura e um forno de alta qualidade oilless bomba de vácuo. tal um PE-CVD é uma nova ferramenta para crescer nanofio ou grafeno ou SiC Revestimento.

especificações:

Dispõe de

poder	3.5 KW
tubo tamanho	Dia 60(OD) X1200mm
produto Dimensões (mm)	1300 x 420 x 1200
tubo rotativo velocidade	0 - 25 RPM variável
fornalha inclinação ângulo	-10-30 °
	1. temp de dois precisão programável. controladores com 30 segmentos. 2. Aquecimento controlado separadamente dois Zonas: 200mm de comprimento para cada aquecimento zona total em aquecimento 400mm 250mm constante de comprimento central temperatura de aquecimento área se ambas as zonas foram aquecidas ao mesmo temperatura
fornalha estruturas	1. Split uma fornalha cilíndrica com deslizante trilho 2. Max 1150ºC para aquecimento contínuo 3. de precisão multi programável digital controladores de temperatura com 30 segmentos. 4. entrada de alimentação: 208 – 240V AC entrada, single fase no max. 4KW
Plasma RF Power Supply	1. Potência de saída do de de : 5 - 500W ajustável com estabilidade de ± 1%. 2. RF frequência: 13,56 MHz ±0.005% estabilidade. 3. reflexão potência: 10W no máximo. 4. de correspondência: Automático 5. Saída RF Porto: 50 Ω, feminina, tipo N 6. ruído: < 30 dB. 7. de resfriamento: Refrigerar de ar. 8. poder: 208-240VAC, monofásico, 50/60Hz
pressão anticorrosivo Medidor de	1. 3.8x10 -5 a 1125 Torr medição gama 2. anticorrosivos, gás-tipo independente 3. de alta precisão e reprodutibilidade na atmosfera de confiança pressão atmosférica deteção 4. rápido deteção atmosférica elimina tempo de espera e encurta o processo de ciclo 5. fácil de trocar o plug & play sensor elemento
estação bomba de vácuo e Válvulas	1. de alta velocidade Pfeiffer (120L/min) óleo-menos Bomba de vácuo seco, 10E-3 Torr limite é instalado dentro o heavy duty carrinho móvel 2. KF25 adaptador e tubo de aço inoxidável são conectado entre o flange da bomba e o tubo com a válvula de esfera para ficha do cliente e jogar 3. vácuo do 10E-2 Torr pode ser alcançado dentro do processamento do tubo
massa medidores de vazão & Gás estação de mistura	é instalado em um carrinho móvel resistente onde a fornalha de tubo pode ser colocada na parte superior. tela de toque LCD é integrada para fornecer fácil controle sobre o fluxo de gás taxa de cada canal independente. 1. temperatura de trabalho: 5 ~ 45 ° c 2. Max. Pressão: 3 x 10 6 Pa 3. exatidão: ± 1.5% FS 4. forro: ±(0.5-1.5) % F.S. 5. duplicado precisão: ±0.2%F.S. 6. controlando Escala: 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM ou 1,2,3,5, 10SLM.
aquecimento e resfriamento Taxas de	porta RS485 e software são instalados e permitir o controle remoto de temperatura Perfil por PC. para atingir Taxa de heating, o usuário deve pré-aqueça o forno a desejado temperatura e, em seguida, deslize da fornalha para a zona de amostra do tubo para atingir o Max. taxa de resfriamento, mover a fornalha aquecida de zona quente para o frio zona aquecimento taxa: 15° C/s (RT - 150 ° C); 10° C/seg. (150° C E 250° C); 7° C/s (250° C -350 ° C); de de /seg 4° C (350° C -500 ° C); 3° C/s (350° C -550 ° C); 2° C/s (550° C -650 ° C); 1° C/s (650° C -800 ° C); 0,5 ° C/s (800° C - 1000° C); refrigeração taxa: 15° C/seg. (1000-950° C); 10° C/seg. (950° C A 900° C); 7° C/seg. (900° C A 850° C); 4° C/seg. (850° C - 750° C); 2° C/seg. (750° C A 600° C); 1.5° C/s (600° C A 500° C); 1° C/s (500° C - 400° C); 0,5 ° C/s (400° C - 300° C);
garantia	um ano de garantia com vida útil limitada suporte.
notas de aplicação	tubo fornos com tubos de quartzo são projetado para o uso sob vácuo e pressão baixa < 0,12 MPa (absoluto pressão). atenção: A regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado sobre o cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 PSI para a operação segura. a taxa de fluxo para gases devem ser limitados a < 200 SCCM (ou 200 ml/min) para a redução choques térmicos para o tubo. limite de vácuo definição para todos os fornos de tubo de quartzo: * pressões de vácuo só podem ser usado com segurança até 1000° C. para o funcionamento Sistema PECVD com tamanho de tubo maior do que 4", por favor mantenha sempre mais do que 1 metro de distância da fonte de plasma após o gerador de plasma começa Trabalhando.

detalhadas imagens

nossas certificações

cooperativa

quente venda produtos da marca

1. nós fornecemos máquinas com suporte à tecnologia de bateria.

2. nós fornecemos conjunto completo de de de de lítio bateria equipamentos de pesquisas de laboratório, pesquisa de escala-piloto e produção lin e.

embalagem & entrega

1 Standard exportados pacote: proteção anticolisão interna, externa exportação embalagem caixa de madeira.

2 transporte por expresso, pelo ar, pelo mar de acordo com exigências dos clientes a encontrar o caminho mais adequado.

3 responsável para os danos durante o processo de envio, mudará a parte de dano para você para livre.