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Laboratory Tube Furnace

Laboratório 1200C Max. Dois zona PECVD tubo Recozimentos (diâmetro do tubo opcional) com Autodeslizante

  • Model Number:

    TMAX-DSP-1200PECVD
  • MOQ:

    1
  • Pagamento:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
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    15 day
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Detalhes do produto

1200ºC Max. Dois zona PECVD uma fornalha cilíndrica (diâmetro de tubo opcional) com Autodeslizante

TMAX-DSP-1200PECVD é que um zona dupla deslizável PE-CVD tubo fornalha sistema consiste de fonte de plasma de RF, com tamanho do tubo e um trilho deslizável integrado, medidor de fluxo maciço de precisão com gás mistura de tanque e uma bomba de vácuo de óleo-menos de alta qualidade. tal uma fornalha de PE-CVD é uma nova ferramenta para crescer nanofio ou grafeno com os seguintes benefícios:
1. processamento de temperatura baixo em comparação ao CVD convencional.

2. elevado aquecimento e resfriamento taxa usando forno deslizante.

3. 1200ºC Max. temperatura de trabalho.

4. oferece uma vasta gama de deposição de material, tais como o carbono & ZnO nanofio (ou tubo) e grafema de camada única.

especificações :

Dispõe de

modelo

DSP-1200 - PECVD-eu

DSP-1200 - PECVD-II

DSP-1200 - PECVD-III

DSP-1200 - PECVD-IV

poder

3 KW

3 KW

4 KW

4 KW

tubo tamanho

Dia 60(OD) X1800mm

Dia 80(OD) X1800mm

Dia 100(OD) X1800mm

Dia120 (OD) X1800mm

produto Dimensões (mm)

1800 x 410 x 610

1800 x 410 x 610

1800 x 460 x 660

1800 x 460 x 660

1. temp de dois precisão programável. controladores com 30 segmentos.

2. dois aquecimento controlado separadamente Zonas:

    • 200mm de comprimento para cada aquecimento zona
    • total em aquecimento 400mm
    • 250mm constante de comprimento central temperatura de aquecimento área se ambas as zonas foram aquecidas ao mesmo temperatura

fornalha estruturas

1. Split uma fornalha cilíndrica com deslizante trilho

2. Max 1150ºC para aquecimento contínuo

3. de precisão multi programável digital controladores de temperatura com 30 segmentos.

4. entrada de alimentação: 208 – 240V AC entrada, single fase no max. 4KW

Plasma RF Power Supply

1. Potência de saída do de de : 5 - 500W ajustável com estabilidade de ± 1%.

2. RF frequência: 13,56 MHz ±0.005% estabilidade.

3. reflexão potência: 10W no máximo.

4. de correspondência: automático

5. Saída RF Porto: 50 Ω, feminina, tipo N

6. ruído: < 30 dB.

7. de resfriamento: Refrigerar de ar.

8. poder: 208-240VAC, monofásico, 50/60Hz

pressão anticorrosivo Medidor de

1. 3.8x10 -5 a 1125 Torr medição gama

2. anticorrosivos, gás-tipo independente

3. de alta precisão e reprodutibilidade na atmosfera de confiança pressão atmosférica deteção

4. rápido deteção atmosférica elimina tempo de espera e encurta o processo de ciclo

5. fácil de trocar o plug & play sensor elemento

estação bomba de vácuo e Válvulas

1. de alta velocidade Pfeiffer (120L/min) óleo-menos Bomba de vácuo seco, 10E-3 Torr limite é instalado dentro o heavy duty carrinho móvel

2. KF25 adaptador e tubo de aço inoxidável são conectado entre o flange da bomba e o tubo com a válvula de esfera para ficha do cliente e jogar

3. vácuo do 10E-2 Torr pode ser alcançado dentro do processamento do tubo

massa medidores de vazão & Gás estação de mistura

é instalado em um carrinho móvel resistente onde a fornalha de tubo pode ser colocada na parte superior. tela de toque LCD é integrada para fornecer fácil controle sobre o fluxo de gás taxa de cada canal independente.

1. temperatura de trabalho: 5 ~ 45 ° c

2. Max. Pressão: 3 x 10 6 Pa

3. exatidão: ± 1.5% FS

4. forro: ±(0.5-1.5) % F.S.

5. duplicado precisão: ±0.2%F.S.

6. controlando Escala: 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM ou 1,2,3,5, 10SLM.

aquecimento e resfriamento Taxas de

    • porta RS485 e software são instalados e permitir o controle remoto de temperatura Perfil por PC.
    • para atingir Taxa de heating, o usuário deve pré-aqueça o forno a desejado temperatura e, em seguida, deslize o forno à zona de o tubo de amostra
    • para atingir o Max. taxa de resfriamento, mover a fornalha aquecida de zona quente para o frio zona

aquecimento taxa:

15° C/s (RT - 150 ° C);

10° C/seg. (150° C E 250° C);

7° C/s (250° C -350 ° C);

4° C/s (350° C -500 ° C);

3° C/s (350° C -550 ° C);

2° C/s (550° C -650 ° C);
1° C/s (650° C -800 ° C);
0,5 ° C/s (800° C - 1000° C);

refrigeração taxa:

15° C/seg. (1000-950° C);

10° C/seg. (950° C A 900° C);

7° C/seg. (900° C A 850° C);

4° C/s (850° C - 750° C);

2° C/seg. (750° C A 600° C);
1.5° C/s (600° C A 500° C);
1° C/s (500° C - 400° C);
0,5 ° C/s (400° C - 300° C);

garantia

um ano de garantia com vida útil limitada suporte.

notas de aplicação

tubo fornos com tubos de quartzo são projetado para o uso sob vácuo e pressão baixa < 0,12 MPa (absoluto pressão).
atenção: A regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado sobre o cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 PSI para a operação segura.
a taxa de fluxo para gases devem ser limitados a < 200 SCCM (ou 200 ml/min) para a redução choques térmicos para o tubo.
limite de vácuo definição para todos os fornos de tubo de quartzo: * pressões de vácuo só podem ser usado com segurança até 1000° C.
para o funcionamento Sistema PECVD com tamanho de tubo maior do que 4", por favor mantenha sempre mais do que 1 metro de distância da fonte de plasma após o gerador de plasma começa Trabalhando.

detalhadas imagens

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nossas certificações da marca cooperativa de do

Produtos de venda quente de


1. nós fornecemos máquinas com suporte à tecnologia de bateria.

2. nós fornecemos completo conjunto de de de lítio bateria equipamentos de pesquisas de laboratório, pesquisa de escala-piloto e produção lin e.


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embalagem & entrega


1 Standard exportados pacote: proteção anticolisão interna, externa exportação embalagem caixa de madeira.

2 transporte por expresso, pelo ar, pelo mar de acordo com exigências dos clientes a encontrar o caminho mais adequado.

3 responsável para os danos durante o processo de envio, mudará a parte de dano para você para livre.




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    Xiamen Tmax Battery Equipments Limited.

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