Revestimento de evaporação térmica de alto vácuo com controle de temperatura de precisão

GSL-1700X-SPC-2 é um revestidor de evaporação térmica compacto com precisão e controle de temperatura programável, adequado para revestir a maioria dos filmes de materiais metálicos e orgânicos de até 2" de 200 ºC a 1500 ºC (ou 200 ºC - 1700 ºC com um termopar tipo B opcional. Um porta-amostra giratório é incorporado para permitir um revestimento de filme uniforme.

ESPECIFICAÇÕES:

Estrutura & Características	Câmara de quartzo de 6" OD x 10"H para fácil limpeza e carregamento de amostras Suporte de amostra giratório de 2" de diâmetro para revestimento de filme uniforme Aquecedor de bobina de tungstênio e cadinho de alumina para revestimento de alta temperatura até 1700 ºC Controle de temperatura de precisão com 30 segmentos programáveis ​​e precisão de +/- 1 ºC Alto vácuo pode ser alcançado até 1.0E-5 Torr via turbobomba opcional A porta e a válvula de fluxo de gás são incorporadas para purga da câmara e possibilidade de CVD
Potência de entrada	Tensão de entrada: 208 - 240 VAC 50/60 Hz, monofásica Potência de entrada: 500 W Potência de saída: corrente máxima de 40 A. Corrente de trabalho recomendada <20 A Cabo de alimentação incluído sem a ficha
Controle de temperatura & Aquecedores	O aquecedor de bobina de tungstênio com um termopar é embutido na parte inferior do cadinho de alumina (para controle de temperatura (PIC. 1). Consulte a imagem à esquerda para obter as dimensões Termopar padrão tipo S (incluído e instalado) - aquecimento de 200 ºC - 1500 ºC (PIC. 2) Termopar tipo B opcional (com custo extra) - aquecimento de 1200 ºC - 1700 ºC Um controlador de temperatura digital com 30 segmentos programáveis ​​e precisão de +/- 1 ºC (PIC. 3) As configurações de tempo do controlador de temperatura são em segundos. Recomenda-se limitar a taxa de aquecimento/resfriamento de temperatura a 0,3 ºC/s (ou 20 ºC/min) abaixo de 1200 ºC e limitar a 0,15 ºC/s (ou 10 ºC/min) de 1200 - 1700 ºC Para aquecimento contínuo acima de 1300 ºC, limite o tempo de operação a menos de 1 hora para preservar a vida útil do anel de vedação do flange inferior Para revestimento rápido de até 2.000 °C, conforme necessário no revestimento de carbono, o usuário pode remover o termopar, o bloco térmico de alumina e o cadinho de alumina, carregar o material de evaporação diretamente no aquecedor da bobina de tungstênio e usar o modo de controle manual atual (PIC. 4 ) Inclui quatro cadinhos de alumina (até 1700 ºC) e dois aquecedores de bobina de tungstênio. Consulte a seção Opcional para solicitar peças de reposição
Suporte de amostra	Um diâmetro de 50 mm. estágio de amostra rotativo e seu obturador são instalados no flange superior. Velocidade de rotação: 5 rpm A distância do porta-amostras até a fonte de evaporação é ajustável de 40 mm a 85 mm
Monitor de espessura de filme (opcional)	Sensor de espessura de quartzo de precisão é opcional. Ele pode ser embutido na câmara para fornecer monitoramento instantâneo da espessura do filme com precisão de 0,10 Å. A unidade de exibição de LED fora da câmara pode: · Insira as informações do material de revestimento com base no banco de dados incluído Exibe a espessura total do revestimento e a velocidade do revestimento Precisão Filme fino & Sistemas de Análise de Revestimento - EQ-TFMS-LD está disponível a um custo extra
Vácuo	A porta de vácuo KF25 está instalada para conectar a uma bomba de vácuo O vácuo mais alto pode atingir <4.0E-6 Torr bombeando durante a noite com a bomba Turbomolecular opcional Uma bomba de vácuo é necessária para o revestimento. Por favor, escolha entre as seguintes opções de produtos Sem bomba de vácuo. Medidor de diafragma de capacitância anticorrosiva está incluído para vácuo até 1.0E-6 Torr Bomba de vácuo de palhetas rotativas de duplo estágio com armadilha de vapor para eliminar a névoa de óleo, que pode atingir vácuo de até 1,0E-2 Torr para evaporação de materiais metálicos nobres, como ouro, prata e materiais orgânicos.
Entrada de Gás	O encaixe do tubo de 1/4 é embutido para purga da câmara ou processamento de gás de formação Uma válvula de agulha é incorporada para controlar a taxa de fluxo de gás
Opcional	Extra cadinho de alumina e aquecedor de bobina de tungstênio pode ser encomendado na TMAX com custo extra Um total de 4 cadinhos de fontes de evaporação podem ser usados ​​para depositar vários materiais diferentes para crescer multicamadas uma a uma na mesma atmosfera da câmara.
Dimensão global
Dimensão da Câmara de Quartzo	D.E.: 165mm D.I.: 150mm Comprimento: 250mm
Observância	Certificado CE
garantia	Garantia limitada de um ano com suporte vitalício
Peso líquido	50kg
Peso de envio & Dimensões	130 libras, 40" x 30" x 32"
Notas de aplicação	Para atingir o alto vácuo necessário para a evaporação de alguns materiais, o usuário pode Verifique a câmara, o anel de vedação e o flange quanto a qualquer partícula, fibra ou arranhão. Use tecido sem fiapos umedecido com álcool isopropílico (IPA) para limpar a superfície Use a fita aquecedora para assar a câmara a 150 ºC e pré-aqueça o aquecedor da bobina e o cadinho a 500 ºC enquanto bombeia com a bomba turbo opcional por pelo menos 2 horas Bombeie a câmara durante a noite sem aquecimento se for necessário um vácuo superior a 1,0E-5 Torr O revestidor pode ser colocado em um porta-luvas de gás Ar ou N2 para evaporação térmica de umidade e umidade. materiais sensíveis ao oxigênio, como o metal Li. NÃO inicie o programa de aquecimento ou aumente manualmente a corrente sem uma câmara fechada e um vácuo! NÃO libere o vácuo ou pare de bombear quando o revestidor estiver em operação de evaporação! Durante o resfriamento do aquecedor, pare de bombear ou libere o vácuo APENAS quando a temperatura cair abaixo de 100 ºC!