Sistema de Evaporação Térmica de Quatro Fontes com Precisão

Controlador de temperatura

O GSL-1700X-EV4 é um sistema de evaporação térmica compacto com um total de 4 cadinhos de fonte de evaporação e precisão e controle de temperatura programável. Quatro cadinhos de evaporação podem ser usados ​​para depositar vários materiais diferentes para desenvolver filmes multicamadas, um por um, na mesma atmosfera da câmara. O sistema é adequado para revestir a maioria dos filmes de materiais metálicos e orgânicos de até 2" de 200 ºC a 1500 ºC (ou 200 ºC - 1700 ºC com um termopar tipo B opcional).

ESPECIFICAÇÕES:

Estrutura & Características	280 mm D.E. x 260 mm D.I. x Câmara de quartzo de 310 mm de altura para fácil limpeza e carregamento de amostras Fontes de evaporação rotativas de 2" de diâmetro para o revestimento de filme uniforme Aquecedor de bobina de tungstênio e cadinho de alumina para revestimento de alta temperatura até 1700 ºC Controle de temperatura de precisão com 30 segmentos programáveis ​​e precisão de +/- 1 ºC Alto vácuo pode ser alcançado até 1.0E-5 Torr via turbobomba opcional A porta e a válvula de fluxo de gás são incorporadas para purga da câmara e possibilidade de CVD
Potência de entrada	Tensão de entrada: CA 208 - 240 V 50/60 Hz, monofásica (110 V CA está disponível via transformador de 1500 W) Potência de entrada: 1.200 W potência de saída:: 12 V e corrente máxima de 30 A. Corrente de trabalho recomendada <30 A Cabo de alimentação incluído sem ficha
Controle de temperatura & Aquecedores	Quatro Cadinhos de Evaporação de Alumina com capacidade de 3 mL cada. Quatro fontes não podem ser usadas ao mesmo tempo. A deposição das multicamadas seria feita uma a uma. O aquecedor de bobina de tungstênio com um termopar é embutido na parte inferior do cadinho de alumina (para controle de temperatura (PIC. 1). Consulte a imagem à esquerda para obter as dimensões Termopar padrão tipo S (incluído e instalado) - aquecimento de 200 ºC - 1500 ºC (PIC. 2) Termopar tipo B opcional (com custo extra) - aquecimento de 1200 ºC - 1700 ºC Um controlador de temperatura digital com 30 segmentos programáveis ​​e precisão de +/- 1 ºC (PIC. 3) As configurações de tempo do controlador de temperatura são em segundos. Recomenda-se limitar a taxa de aquecimento/resfriamento de temperatura a 0,3 ºC/s (ou 20 ºC/min) abaixo de 1200 ºC e limitar a 0,15 ºC/s (ou 10 ºC/min) de 1200 - 1700 ºC Para aquecimento contínuo acima de 1300 ºC, limite o tempo de operação a menos de 1 hora para preservar a vida útil do O-ring do flange inferior Para revestimento rápido de até 2.000 °C, conforme necessário no revestimento de carbono, o usuário pode remover o termopar, o bloco térmico de alumina e o cadinho de alumina, carregar o material de evaporação diretamente no aquecedor da bobina de tungstênio e usar o modo de controle manual atual (PIC. 4 ) Inclui quatro cadinhos de alumina (até 1700 ºC) e dois aquecedores de bobina de tungstênio. Consulte a seção Opcional para solicitar peças de reposição
Porta-amostras giratório	Um diâmetro de 50 mm. estágio de amostra rotativo e seu obturador são instalados no flange superior. Velocidade de rotação: 5 rpm A distância do suporte da amostra à fonte de evaporação é ajustável de 40 mm a 85 mm
Sistema de Análise de Espessura de Filme (opcional)	Precision Thin Film & Sistemas de análise de revestimento - EQ-TFMS-LD está disponível a um custo extra.
Vácuo	A porta de vácuo KF25 está instalada para conectar a uma bomba de vácuo O vácuo mais alto pode atingir <1E-5 Torr bombeando durante a noite com a bomba Turbomolecular opcional Uma bomba de vácuo é necessária para o revestimento. Por favor, escolha entre as seguintes opções de produtos Bomba de vácuo de palhetas rotativas de duplo estágio com armadilha de vapor para eliminar a névoa de óleo, que pode atingir vácuo de até 1,0E-2 Torr para evaporação de materiais metálicos nobres, como ouro, prata e materiais orgânicos.
Entrada de Gás	O encaixe do tubo de 1/4 é embutido para purga da câmara ou processamento de gás de formação Uma válvula de agulha é incorporada para controlar a taxa de fluxo de gás
Opcional	Cadinho extra de alumina e aquecedor de bobina de tungstênio podem ser encomendados na TMAX com custo extra
Dimensão global
Dimensão da Câmara de Quartzo	O.D.:280mm (11") ID: 260 mm (10,2") Comprimento: 310 mm (12,2")
Observância	Certificado CE
garantia	Garantia limitada de um ano com suporte vitalício
Peso líquido	80kg
Peso de envio & Dimensões	200 libras, 40" x 30" x 32"
Notas de aplicação	Para atingir o alto vácuo necessário para a evaporação de alguns materiais, o usuário pode Verifique a câmara, o anel de vedação e o flange quanto a qualquer partícula, fibra ou arranhão. Use um tecido sem fiapos umedecido com álcool isopropílico (IPA) para limpar a superfície Use a fita aquecedora para assar a câmara a 150 ºC e pré-aqueça o aquecedor da bobina e o cadinho a 500 ºC enquanto bombeia com a turbobomba opcional por pelo menos 2 horas Bombeie a câmara durante a noite sem aquecimento se for necessário um vácuo superior a 1,0E-5 Torr NÃO inicie o programa de aquecimento ou aumente manualmente a corrente sem uma câmara fechada e um vácuo! NÃO libere o vácuo ou pare de bombear quando o revestidor estiver em operação de evaporação! Durante o resfriamento do aquecedor, pare de bombear ou libere o vácuo APENAS quando a temperatura cair abaixo de 100 ºC!